株式会社イメージセンス

結晶界面 の最適な方位関係の評価に界面整合性評価 プログラムが役立ちます。

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界面整合性評価プログラム (AV-CRLP)

■概 要

薄膜/基板界面、析出物/母材界面の最適な
方位関係を導出、形成される方位関係が予測可能。

逆格子一致法(CRLP 法)の適用により粒界だけでなく
対応格子理論(CSL理論)では不可能であった、薄膜
や複合材料で重要な異相界面の方位を予測することに
成功。
予測された方位関係が電子顕微鏡で観察 されています。

Cu/Al2O3 結晶界面 の電子顕微鏡像 資料ご提供/東京大学 幾原先生
Cu/Al2O3界面の電子顕微鏡像
資料ご提供/東京大学 幾原先生

■結晶界面の方位関係の予測

Nb/Al2O3界面

結晶界面整合性評価により予測された方位関係が
実際の薄膜成長で形成された方位関係と完全一致。

Nb/Al2O3界面
Nb/Al2O3 界面

V/Al2O3界面

基板に対して3°のミスオリエンテーション角度を有する薄膜の形成を予測。
実際の薄膜で形成されています。

V/ Al2O3界面
    幾何学的整合性が
    最大となる方位関係
V/ Al2O3 界面

Cu/Al2O3界面

 
Cu/Al2O3 結晶界面 Cu/Al2O3 界面
Cu/Al2O3界面

幾何学的整合性の面内回転角度依存性を 明らかにすることが可能。
面内回転の存在する薄膜に適用可能です。

■機 能

計算によって得られた結晶界面整合性が最大となる方位関係を視覚的に
  分かりやすく表示します。
   (図1,V/MgO界面の場合青色:V、赤色:MgO)

図1 最大ピークにおけるVとMgO 結晶 の方位関係図1 最大ピークにおけるVとMgO結晶の方位関係

結晶界面整合性が最大となる方位関係(図1)における
  ミラー指数((hkl)または[uvw])を表示(図2)します。

図2 図1における VとMgO結晶のミラー指数図2 図1における VとMgO結晶のミラー指数

図1の画面上でマウスのドラッグ操作により結晶を回転させることが可能です。
  (図2のミラー指数も回転と同時に変化します)。
  この機能により、結晶方位関係を非常に簡単に理解することができます。

2つの結晶の互いに平行な結晶面の算出が可能。(図3)例えば、図1の方位関係
  の場合、Crystal1(赤色:MgO)の(110)面がcrystal2(青色:V)の(010)面に平行で
  あることが算出できます。
  この機能により、薄膜/基板界面などの方位 関係解析が容易にできます。

図3 互いに平行な結晶面の算出 図3 互いに平行な結晶面の算出
最も整合性の高い方位関係だけでなく、N番目に整合性の高いピークを指定し
  ラインプロファイルや3Dプロファイルを表示することができます。
  これによって、最大ピーク以外に存在する整合性の高い方位関係を見つける
  ことが可能です。
ラインプロファイルによる結晶の方位関係 鳥瞰図による結晶の方位関係

4Dプロファイルにより全体の様子を一目で確認できます。

4Dプロファイルによる結晶の方位関係

これらの計算データはCSVファイルに出力できます。

■動作環境

Windows XP, 2000
スクリーン 1024 × 768以上
メインメモリ 512Mbyte以上推奨

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