位相シフト計測は位相シフト法により、光や電子線の干渉縞パターンから 位相情報の抽出を 行うことができます。 光においては、格子パターンを投影することにより高精度に3次元の形状を 計測できます。 また、干渉の利用により波長レベルの高精度形状計測も可能です。 電子線の場合は、半導体や先端材料の電磁場の観察に利用されています。 その他に、ガス・ガラス・生物試料など位相物体の3次元的な情報が得れ、 その物理的特性を明らかにすることが可能になります。 位相シフトのアルゴリズは3ステップ法、4ステップ法、 5ステップ法(Hariharan、5Bucketアルゴリズム) が用意されています。 また、ご依頼いただければ他の方法も追加致します。 操作は極めて簡単で、すぐに快適に使えますが、 弊社ではAV-画像処理ライブラリー、 AV-時系列画像ボードなどが用意されており、 良い結果が得られ れば、すぐにでも 製品化できる ようになっています。 また、実験段階でも製品化の時でも、弊社として のお手伝いもできます。
左上:干渉縞 右上:位相像 左下:位相像10倍増幅 右下:干渉像10倍増幅 資料ご提供 / 東京工芸大学 陳先生
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