ＲＨＥＥＤ振動モニタは薄膜成長の様子をその場で観察可能です。

ＲＨＥＥＤ振動モニターシステムは半導体、酸化物、窒化物を含めたあらゆる機能性薄膜の原子レベル制御に必要不可欠な高速電子線回折（ＲＨＥＥＤ）のモニターシステムをご提供いたします。
ＣＣＤカメラで観測したＲＨＥＥＤパターンをパソコン上に映しだし、同時に任意の場所、箇所、大きさで時間とともに変化する強度を同一画面上にグラフ表示し、薄膜の成長の様子をその場で観察することができます。
これらのことにより、機能性材料の表面の構造や凹凸の状態・成長速度といった薄膜の成長の様子がその場で観察可能となり、製作過程において職人的感に頼ることなく製膜条件を決めることができるようになります。

ガリームナイトライド薄膜の
高速電子線回折(RHEED)
資料ご提供／静岡大学角谷先生

RHEED振動のグラフ資料ご提供／島根大学梶川先生

■RHEED　原理

真空装置のなかで電子線を試料に対してほぼ水平(２～３度）に入射させます。
電子線は原子との相互作用が大きく浅い角度で入射されたことにより、蒸着による
表面構造を反映した回折パターン（ＲＨＥＥＤパターン）がスクリーンに投影されます。
このＲＨＥＥＤパターンから雰囲気の条件や試料温度によって異なる構造や、島状
成長か層状成長か、ステップの状態がどのようになっているかということが分かります。
また、回折点のＲＨＥＥＤ振動により原子が何層積まれたのか成長速度がどのくらいか
が分かります。

■RHEED　機能

●RHEEDパターンの強度の計測（任意の場所、箇所、大きさ）
●RHEED振動のその場でのグラフ表示、再表示
●RHEED振動はCSVファイルで保存され、独自の解析が可能
●RHEEDパターンの任意の時刻における保存（BMP、TIFF、JPEG、ＡＶＩファイル）
●RHEEDパターンの自動記録
●回折スポット間距離の計測、その場でのグラフ表示
●回折ストリーク間距離の計測、その場でのグラフ表示
●ピーク点の移動に対する自動追随機能
●指定されたロイ内の平均輝度、またはピーク値のモニター
●１シーンの最小処理時間１/３０秒
●最大８点までの同時計測
●データの補間
●強度ラインプロファイル
●強度２次元ヒストグラム

（関連製品）
●汎用画像解析ソフトで強度３Ｄプロファイルが可能
●汎用画像処理ライブラリーで独自のプログラムが作成可能
●フーリエ位相解析プログラムではフーリエ位相解析が可能

■RHEED　構成

●RHEED振動モニター画像処理部（AV-時系列画像処理ボード＆解析プログラム）
●RHEEDパターン入力ユニット
●コンピュータ　 Windows XP, Vista
●お手持ちの機器を活用しながら柔軟に対応します。

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ＲＨＥＥＤ 振動モニタは薄膜の生成のようすをその場で観察することができます。

RHEED 振動モニタｰシステム（AV-RHEED)

■RHEED 概要

■RHEED 原理

■RHEED 機能

■RHEED 構成

ＲＨＥＥＤ振動モニタは薄膜の生成のようすをその場で観察することができます。

■RHEED　概要

■RHEED　原理

■RHEED　機能

■RHEED　構成